ATAGO在光電行業(yè)的應(yīng)用舉例
1: 微電子工業(yè):研究不同波長下的聚光透鏡,聚光材料折射率,選擇盡可能大折射率的材料可以有效提高光刻密度,刻線細(xì)度,減少PN節(jié)之間的漏電流,減低半導(dǎo)體成品的功耗,增加單位面積硅片的晶體管數(shù)量.
2: LED/LCD工業(yè):使用高折射率材料可以有效提高內(nèi)部折射效率,提高被動(dòng)發(fā)光材料的閃爍效果,減低主動(dòng)發(fā)光材料的光損耗.
3: 半導(dǎo)體工業(yè)大量使用清洗液,洗去光刻工藝的有機(jī)物雜質(zhì),在線折光儀可以判斷水中溶解的雜志的含量,判斷清洗效果和清洗劑的效能.
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